鈦鈮酸鍶膜光敏傳感元件的制備與特性分析
作者：廖榮; 劉慧君; 柯嘉聰; 李涌春; 廖鴻韜; 羅志勇 華南理工大學(xué)電子與信息學(xué)院; 廣東廣州510640
摘要：利用鍍膜技術(shù)和硅平面工藝在經(jīng)過干氧氧化的硅襯底上制備一層鈦鈮酸鍶(Sr NbxTi1-xO3)薄膜,然后制備成平面型薄膜光敏傳感器。對(duì)鈦鈮酸鍶薄膜的吸收光譜進(jìn)行測(cè)定,得到其禁帶寬度為2. 70 e V,對(duì)可見光有良好的敏感性。樣品在穩(wěn)定光照下,光電流隨照度的增大而增大;溫度對(duì)光敏特性影響很大,本傳感器適用于穩(wěn)定光照和室溫下使用。
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傳感器與微系統(tǒng)雜志
傳感器與微系統(tǒng)雜志， 月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：綜述與評(píng)論、研究與探討、設(shè)計(jì)與制造、計(jì)算與測(cè)試、應(yīng)用技術(shù)等。于1982年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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