摘要：柔性全固態(tài)薄膜鋰電池具有輕質(zhì)、可賦形等特點(diǎn),在可穿戴、柔性顯示等領(lǐng)域具有非常廣闊的應(yīng)用前景?；赑VD技術(shù)實(shí)現(xiàn)了LiCoO2正極、LiPON固態(tài)電解質(zhì)和金屬Li負(fù)極等關(guān)鍵材料的薄膜化沉積,并最終以柔性超薄不銹鋼為基底成功制備了LiCoO2/LiPON/Li柔性全固態(tài)薄膜鋰電池。采用X射線衍射光譜法(XRD)、掃描電子顯微鏡法(SEM)對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、形貌進(jìn)行了表征。采用LAND測(cè)試系統(tǒng)以及電化學(xué)工作站對(duì)電池的電化學(xué)性能進(jìn)行測(cè)試分析,電池以10μA/cm^2電流充/放電時(shí),首次放電面積比容量達(dá)到13.1μAh/cm^2。電池可以65μA/cm^2(5)恒電流充/放電。