摘要：隨著電子工業(yè)的迅速發(fā)展,八氟環(huán)丁烷作為常用的半導體工藝蝕刻或清洗氣體,其需求量日益增加,對其純度要求也越來越苛刻?？偨Y了現(xiàn)有應用最為廣泛的四種八氟環(huán)丁烷純化技術:精餾技術、吸附技術、化學轉化法、膜分離技術,分析四種純化技術各自優(yōu)缺點。在實際生產中,根據八氟環(huán)丁烷中所含雜質的種類,選擇合適純化技術聯(lián)用來獲得高純八氟環(huán)丁烷。此外,應不斷開發(fā)新型、高效電子氣體純化技術,促進我國電子氣體行業(yè)的發(fā)展。