熱退火對(duì)GaN陰極光電發(fā)射性能的影響
作者：李飆; 任藝; 常本康 商丘師范學(xué)院電子電氣工程學(xué)院; 河南商丘476000; 商丘職業(yè)技術(shù)學(xué)院機(jī)電系; 河南商丘476000; 南京理工大學(xué)電子工程與光電技術(shù)學(xué)院; 南京210094
摘要：熱退火不但可以減少GaN陰極樣品中的各種缺陷和寄生電容,改善材料的結(jié)晶屬性,而且可以改善樣品的表面質(zhì)量,對(duì)提高樣品的光譜響應(yīng)是一種有力的手段。對(duì)GaN陰極樣品進(jìn)行了不同溫度、不同時(shí)間的退火處理,使樣品的性能得到了改善,最優(yōu)條件下樣品的暗電流為200pA,電阻率為1.6Ω·cm,最大光譜響應(yīng)為0.19A/W。依據(jù)光譜響應(yīng)作為評(píng)估標(biāo)準(zhǔn),可以得出,采用700℃熱退火10min制備出的陰極具有更高的光電發(fā)射性能,從而實(shí)現(xiàn)了GaN光電陰極的優(yōu)化制備工藝。
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