液固耦合傳遞兆聲振動(dòng)復(fù)合化學(xué)機(jī)械拋光研究
作者：翟科; 任奕; 何勃 遼寧工業(yè)大學(xué)振動(dòng)工程研究所; 錦州121001
摘要：采用液固耦合形式的拋光工具頭，實(shí)現(xiàn)了兆聲作用的柔性靈活附加，計(jì)算了多層中間介質(zhì)情況下的聲能量透射率，在此基礎(chǔ)上開展了兆聲作用下的硅片化學(xué)機(jī)械拋光實(shí)驗(yàn)研究．結(jié)果表明，較之傳統(tǒng)拋光，在兆聲復(fù)合拋光作用下硅片的表面質(zhì)量得到了明顯的改善．其中，研磨硅片的粗拋光過程，兆聲復(fù)合拋光硅片的表面粗糙度Ra均值由0．3304μm下降到0．0750μm，傳統(tǒng)拋光硅片的Ra均值則由0．3109μm下降到0．0903μm；拋光硅片的二次精拋過程，兆聲復(fù)合拋光硅片的Ra均值降至0．495nm，傳統(tǒng)拋光硅片Ra均值達(dá)到0．560nm．
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納米技術(shù)與精密工程雜志
納米技術(shù)與精密工程雜志， 季刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅(jiān)持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：納米技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)、精密加工、精密測(cè)量等。于2003年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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