基于ScAlN/FeGa結(jié)構(gòu)的磁電聲表面波諧振器
作者：姜建利; 楊雪梅; 劉婉; 白飛明 電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國家重點實驗室; 四川成都610054
摘要：該文研究基于磁致伸縮FeGa合金襯底的磁電聲表面波(SAW)諧振器。首先,在FeGa磁致伸縮襯底上濺射沉積了ScAlN壓電薄膜,完成了單端口聲表面波諧振器的制備;其次,采用X線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)等手段對ScAlN薄膜進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析;最后,采用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和微波探針臺測試S參數(shù)和群時延。結(jié)果表明,ScAlN薄膜晶粒呈柱狀生長且具有高度(002)取向,薄膜表面粗糙度在2.36nm左右;當(dāng)ScAlN壓電薄膜厚為0.7μm,波長為15.74μm時,SAW諧振器的諧振頻率為218.75MHz,相速度為3443m/s,機(jī)電耦合系數(shù)為0.06%,與COMSOL仿真計算結(jié)果較吻合。
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壓電與聲光雜志
壓電與聲光雜志， 雙月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進(jìn)性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：聲表面波技術(shù)、聲光與光纖技術(shù)、壓電及其他功能器件、單晶、薄膜及其他功能材料、實驗技術(shù)與測試方法。等。于1979年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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