摘要：當(dāng)前微流控表面增強(qiáng)拉曼散射(SERS)檢測(cè)領(lǐng)域常用的貴金屬納米顆粒溶膠單位體積內(nèi)熱點(diǎn)區(qū)域數(shù)量有限且熱點(diǎn)區(qū)域范圍較小,而貴金屬納米三維陣列結(jié)構(gòu)加工時(shí)間長(zhǎng),成本高昂并存在“記憶效應(yīng)”。本文提出了集成到微流道的復(fù)合Ag/SiO2正弦光柵SERS基底結(jié)構(gòu),可以利用激光干涉光刻技術(shù)進(jìn)行制備,無(wú)需預(yù)制掩膜版,可實(shí)現(xiàn)大面積、低成本SERS基底簡(jiǎn)易快速制備。利用嚴(yán)格耦合波分析方法(RCWA)建立了復(fù)合正弦光柵表面電場(chǎng)增強(qiáng)數(shù)學(xué)評(píng)估模型,推導(dǎo)了表面等離子體共振(SPP)耦合吸收率數(shù)學(xué)模型,分析了入射光、復(fù)合正弦光柵結(jié)構(gòu)與外界環(huán)境介電常數(shù)的優(yōu)化匹配關(guān)系,得到了入射光785nm條件下的最佳復(fù)合正弦光柵結(jié)構(gòu)。通過(guò)制備加工并實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了復(fù)合正弦光柵的SERS性能,SERS增強(qiáng)因子(EF)能夠達(dá)到10^4。